4156B是由安捷伦Agilent推出的精密半导体参数分析仪,应用在半导体器件的直流参数测试、可靠性分析和工艺开发中,以下就是Agilent 4156B的参数详情。

Agilent 4156B参数
电流测试范围:1fA-1A
电流分辨率:1fA,偏移精度为20fA
电压测试范围:±100V
通道配置:4个SMU源测量单元、2个VSU电压源单元和2个VMU电压测量单元
测试模式
直流IV扫描:全自动执行电流-电压特性测试,需选配CV模块 。
脉冲IV测量:支持10μs-1s可调脉冲输出,避免器件自热效应
时域采样测量:最高支持10001个数据点采集,时间间隔为60μs-可变。
可靠性测试:支持热载流子注入(HCI)、闪存EEPROM耐久性等循环应力测试 。
QSCV(准静态电容电压):4156B需外接 41501B或4284A,而4156C为内置
通信接口:GPIB、LAN、并口和软驱
软件平台
内置 HP Instrument BASIC
图形界面:Desktop EasyEXPERT(基于 Windows XP 嵌入式)






