安捷伦Agilent 4156B半导体参数分析仪参数
发布于2026-03-16
4156B是由安捷伦Agilent推出的精密半导体参数分析仪，应用在半导体器件的直流参数测试、可靠性分析和工艺开发中，以下就是Agilent 4156B的参数详情。Agilent 4156B参数电流测试范围：1fA-1A电流分辨率：1fA，偏移精度为20fA电压测试范围：±100V通道配置：4个SMU源测量单元、2个VSU电压源单元和2个VMU电压测量单元测试模式直流IV扫描：全自动执行电流-电压特性测试，需选配CV模块 。脉冲IV测量：支持10μs-1s可调脉冲输出，避免器件自热效应时域采样测量：最高支持10001个数据点采集，时间间隔为60μs-可变。可靠性测试：支持热载流子注入（HCI）、闪存EEPROM耐久性等循环应力测试 。QSCV（准静态电容电压）：4156B需外接 41501B或4284A，而4156C为内置通信接口：GPIB、LAN、并口和软驱软件平台内置 HP Instrument BASIC图形界面：Desktop EasyEXPERT（基于 Windows XP 嵌入式）
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