是德 E5061B 测 PDN 阻抗，低频那一段才是关键 - 深圳市晧辰电子科技有限公司

测电源分配网络（PDN）的阻抗，卡住大多数人的不是精度，而是频率下限。常见射频矢网的最低频率在 100 kHz 或 300 kHz，而电源平面的阻抗要在更低的一段才接近它的直流特性。下限够不到，后面再准的校准也补不出那一段曲线。

E5061B 之所以常被点名，就是因为它把这个下限拉到了 5 Hz：配 LF-RF 选件（3L5）时覆盖 5 Hz 至 3.0 GHz。但只有低频能力还不够，还要有阻抗分析选件 005，并且接法对。这三件事缺一件，都测不出可用于判断的曲线。

一、结论先说：两件事缺一不可

用一句话概括做法：用一台下限 5 Hz 起的机器，按两端口并联法接。前半句解决"能不能看到"，后半句解决"测得准不准"。

频率下限决定你能看到哪一段。5 Hz 起，才有低频段的数据点。
接法决定低阻抗下测不测得准。毫欧级阻抗对引线、接地与夹具极敏感，两端口并联接法是常用做法。
选件决定这台机器有没有阻抗分析能力。网络分析与阻抗分析在 E5061B 上是两套功能，靠选件区分。

二、普通矢网差在哪三处

把普通射频矢网搬来做 PDN 测量，通常会在这三处卡住，而且都不是靠调试能绕过去的。

频率下限：最低频率在 100 kHz 或 300 kHz 一档，低频段直接空着。这一段恰恰是判断电源平面能不能满足目标阻抗的地方。
端口与接法：常规矢网按 50 Ω 同轴接口设计，测极低阻抗需要两端口并联并在夹具上做去嵌，接口与夹具不配套时，测出来的是夹具而不是被测件。
阻抗分析能力：没有阻抗参数提取能力，就只能看 S 参数，再自己换算，误差与工作量都上来。

所以问题不是"矢网不够好"，而是用在了不对的频段与不对的接法上。同一台仪器测 S 参数很好，换成 PDN 就不成立。

是德科技 8720ES 矢量网络分析仪，常规射频矢网的典型外观图：是德科技 8720ES 矢量网络分析仪

三、E5061B 的两个能力：LF-RF 选件与 005

E5061B 的产品线里有两组选件，决定了它能不能干这件事：LF-RF 网络分析选件（3L3、3L4、3L5）把频率下限拉到 5 Hz；阻抗分析选件 005 提供阻抗参数测量能力。

3L5 覆盖 5 Hz 至 3.0 GHz，是这一档里量程最大的一种；3L3、3L4 的量程依次小一些。
基础机型本身的射频网络分析量程为 100 kHz 至 1.5 GHz 或 3 GHz，两端口，50 Ω 或 75 Ω，可选传输反射或 S 参数配置。
选件 005 只能在 3L5、3L4、3L3 之上使用，并要求固件版本 A.02.00。这一点在买二手时尤其重要，选件组合不对，机器就做不了阻抗分析。

换句话说，要不要做 PDN 阻抗，看的是这台机器有没有"5 Hz 起的 LF-RF 选件＋ 005"这个组合，而不是它叫不叫 E5061B。

是德科技 E5061B 矢量网络分析仪正面外观，配置 LF-RF 选件可测至 5 Hz

图：是德科技 E5061B 矢量网络分析仪

四、两端口并联法怎么接

毫欧级的阻抗不能按常规两端测量去接，引线与接地的阻抗会盖过被测件本身。常用做法是两端口并联：两个端口分别接在被测件两端，激励与取样分开走。

端口一加激励，端口二取电压响应，两端的并联结构让电流回路与电压取样分离。
接地环路面积要小，探头或夹具的地要就近回到被测件的地，不要绕远。
被测件要按实际工况上电或断电，测在路阻抗时要看清旁路电容与负载的影响。
夹具与探头的去嵌要做，否则看到的谐振点会整体偏移。

五、校准与夹具：低频段的坑更多

低频段的校准与射频段不一样。校准件要覆盖你要用的频段，夹具要去嵌，两步都做，曲线才有意义。

开路、短路、负载的标准件要与夹具配套，直接拿同轴校准件替夹具校准，误差会留在结果里。
低频段对接触电阻敏感，接头拧紧力度与清洁度都要一致，否则重复性很差。
测完先看重复性，再看绝对值。两次接同一被测件结果差得多，先查接法与夹具，不要急着怀疑仪器。

矢网本身的通病也会影响这一步，接头状态与校准件是否可用，可以直接参看网络分析仪常见故障那篇里"先查接头再看校准"的顺序。

六、曲线怎么读：三个位置就够判断

PDN 阻抗曲线不需要逐点看，集中在三个位置：低频段是否满足目标阻抗、谐振峰落在哪里、容性段与感性段的斜率是否正常。

低频段：这一段决定电源在稳态负载下的压降余量，也是必须 5 Hz 起测的原因。
谐振峰：电容与平面电感形成的峰，如果峰值超过目标阻抗，就要加电容或改布局。
斜率：容性段按每十倍频程下降，感性段上升；哪一段斜率不对，说明那一段的模型或接法有问题。

七、二手 E5061B 怎么验选件

这台机器在二手市场上流通量不小，但选件缺失是最常见的隐形坑。验机按三步走，比看外观有用得多。

开机进选件列表，核对有没有 3L5（或 3L3/3L4）与 005，两项都要在。
看后面板与铭牌标识是否与列表一致，改装过的机器以列表为准。
确认固件版本满足 005 的要求，版本不对时功能用不起来。

这三步之外，再看端口与阻抗：50 Ω 与 75 Ω 是不同配置，选错接口类型，后面的夹具全要重配。站内在售的这一档可以对照是德 E5061B 矢量网络分析仪的参数页，核对自己需要的量与选件。

八、询价前把五项信息准备好

不管买新机还是二手，信息给得越具体，对方给的配置建议越准。五项一次给到：

要测的频率范围：下限到多少赫兹，这一条决定要不要 LF-RF 选件。
要不要阻抗分析：要就核 005，不要则看纯 S 参数配置即可。
端口数与阻抗：两端口够不够，50 Ω 还是 75 Ω。
夹具与探头：现成的还是需要配，去嵌要不要一起考虑。
使用方式：长期占位还是项目期短期用，决定买还是租。

九、结论：先看下限，再谈精度

选这台机器的顺序应该反过来：先确认频率下限够不够，再确认有没有阻抗分析选件，最后才比精度与价格。下限不够，后面的比较都没有意义；选件不对，机器就停在 S 参数这一层。

深圳市晧辰电子科技有限公司在射频微波测试仪器上做销售与租赁，矢网是常做的品类，选件与成色按台核对。能不能满足你的测试项，要看频段与选件组合，仅凭型号无法承诺。需要核对某一台的选件，可以从E5061B 的产品页看参数，也可以把测试项发给我们；如果还想看这一档的常规机型有哪些，仪器销售栏目里能按品类翻。设备到手后发现端口或校准有问题，仪器维修服务这条线可以先做故障定位再谈处理。